今天為大家介紹一下影響分子篩吸附泵極限壓力的幾個因素。至于如何更有效改善,通過4個方面來為大家解讀細節,現在我們一起來具體了解下。
為進一步降低泵的極限壓力,改善對惰性氣體的抽除能力,對分子篩吸附泵的應用中可以采取以下幾個方面的措施:
1、黏滯流輸運技術。這種方法也叫二級抽氣技術,但并不是兩個吸附泵的簡單串聯,我們在介紹影響因素的時候就提到了,簡單串聯對泵的極限壓力改善并不大。簡單原理就是當泵1抽到1.3×102Pa左右時,系統內處于黏滯流狀態,這時系統中的惰性氣體會隨著氣流進入到泵1,此時在惰性氣體未返回被抽容器之前,關閉閥門1,同時啟動泵2。這樣會損害泵1的極限壓力,但泵2可以減少惰性氣體的影響,一般極限壓力可以提高到10-2Pa,最高可以達到10-3Pa。而簡單的串聯,在泵1達到平衡壓力后再啟動泵2,極限壓力一般在10-1Pa左右。
2、氣體沖刷法。這個方法其實就是氮氣沖洗,利用純氮趕走空氣,使容器中的惰性氣體成分等減少,從而提高分子篩吸附泵的極限壓力。利用這種方式,分子篩吸附泵的極限壓力可以達到10-4~10-5Pa。
3、徹底的再生工藝。分子篩吸附泵在使用多次后會吸附一些不易脫附的氣體,因此需要通過加溫烘烤再生,一般像水汽會在250~350℃下保持數小時。但對于氫氣含量較高的抽氣環境,高溫會惡化極限壓力,此時為降低氫氣的分壓,再生溫度應在150℃左右。或者在機械泵預抽到1.33×10-1Pa或更低的壓力下再加溫(200℃或300℃)烘烤數小時.這樣可以得到10-5Pa左右的極限壓力。
4、改善吸附劑的吸附特性。不同的吸附劑對氣體的吸附特性不同,如活性炭在低溫下對H2、Ne、He的吸附量優于分子篩,13X的分子篩適合抽油蒸氣,而5A則擅長水、二氧化碳的吸附等等,根據這些特點使用混合吸附劑來使泵實現更低的極限壓力。